FESEM:
1 分辨率
1.1 SE分辨率 15 kV：1.0 nm (工作距离4 mm)；
1。2 SE分辨率 1 kV：1.3 nm；
1.4 加速电压：0.1 ~ 30 kV；
1.5 放大倍率：100~800000x（照片倍率）400~2000000x（实际显示倍率）
能谱仪：
能谱仪：（点扫描、线扫描、元素分析、Mapping）
制冷方式：电制冷
有效晶体活区面积：≥60mm2，
元素探测范围：Be(4) - Am (95)能量分辨率< 127eV(MnK,100 000cps),
探头优于130eV；
轻元素分辨率（C元素）：优于54eV；
计数率：最大输入计数率：> 1,600 kcps；
最大输出计数率：> 850 kcps

无

场发射扫描电镜（Hitachi SU8010）
能谱仪（Bruker X-Flash/6160）
喷铂喷金离子溅射仪（徕卡Leica EM ACE200真空镀膜仪）