主要规格及技术指标
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能量扫描范围0-5000eV,通过能范围1-400eV连续可调。 |
主要功能及特色
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可用于固体样品的表面成分含量分析、化学态分析,以及微小区域和深度分布分析等。 |
主要附件及配置
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XPS主要由仪器主机、电源控制柜、电子分析器、检测器系统、微聚焦单色化X射线源、中和枪、离子源、样品导航和处理器、双阳极、紫外光电子能谱、团簇刻蚀套件、大束斑离子清洁枪、三层样品停放台等构成。 |