高分辨的三维定位装置：
步进电机XYZ分辨率：8nm XYZ移动距离：50 mm
压 电 晶 体X,Y,Z 闭环定位器：85 um 行程，1.6 nm 分辨
恒电位仪/双恒电位仪
零阻电流计
2，3，4电极结构
两个通道最大电位范围： ±10 V
最大电流：±250 mA
槽压：±13 V
恒电位仪上升时间： 小于 1 s, 通常 0.8 s
所加电位准确度： ±1 mV,±满量程的0.01%
测量电流范围：±10 pA 至 ±0.25 A， 12量程
测量电流分辨：电流量程的0.0015%，最低 0.3 fA
电流测量准确度：电流灵敏度大于等于1e-6 A/V时为0.2%，其他量程1%
输入偏置电流：< 10 pA

恒电流仪
恒电流范围： 3 nA – 250 mA
所加电流分辨率：电流范围的0.03%
所加电流准确度：如果电流大于 3e-7A时为0.2%，其他范围为1%，±20 pA
测量电位分辨率：测量范围的0.0015%

Electrometer: 电位计
参比电极输入阻抗：1e12 欧姆
参比电极输入偏置电流：<= 10 pA @ 25°C

扫描电化学显微镜与扫描隧道显微镜(STM)的工作原理类似。但SECM测量的不是隧道电流，而是由化学物质氧化或还原给出的电化学电流。尽管SECM的分辨率较STM低，但SECM的样品可以是导体，绝缘体或半导体，而STM只限于导体表面的测量。SECM除了能给出样品表面的地形地貌外，还能提供丰富的化学信息。其可观察表面的范围也大得多。

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